摘(zhai)要:讨(tao)論了(le)金屬(shu)管浮(fu)子流(liu)量計(ji) 加裝(zhuang)阻尼(ni)器在(zai)多晶(jing)矽生(sheng)産中(zhong)的應(ying)用方(fang)案,并(bing)對流(liu)量計(ji)📧使用(yong)阻🚶尼(ni)器前(qian)後的(de)效果(guo)作了(le)對比(bi)。
1金屬(shu)管浮(fu)子流(liu)量計(ji)的工(gong)作原(yuan)理及(ji)一般(ban)應用(yong)
　　轉子(zi)流量(liang)計 ,又(you)稱浮(fu)子流(liu)量計(ji),金屬(shu)浮子(zi)流量(liang)計由(you)于其(qi)結構(gou)簡單(dan)，可靠(kao)性強(qiang),可輸(shu)出标(biao)準信(xin)号,并(bing)能實(shi)現流(liu)量的(de)指示(shi)、積✨算(suan)、記🚶‍♀️錄(lu).控制(zhi)和報(bao)警等(deng)多種(zhong)功能(neng),所以(yi)在工(gong)，業生(sheng)産中(zhong)被廣(guang)泛應(ying)用。
1.1金(jin)屬管(guan)浮子(zi)流量(liang)計的(de)工作(zuo)原理(li)
　　金屬(shu)管浮(fu)子流(liu)量計(ji)采用(yong)可變(bian)面積(ji)式測(ce)量原(yuan)理。llj 主(zhu)要由(you)三部(bu)🥵分💋組(zu)成:測(ce)量管(guan)、浮子(zi).耦合(he)指示(shi)系統(tong)。如原(yuan)理圖(tu)所示(shi),相對(dui)應測(ce)量介(jie)質的(de)某--流(liu)量。磁(ci)性浮(fu)子在(zai)測量(liang)管中(zhong)對應(ying)一個(ge)浮👄子(zi)位置(zhi)🔅.這個(ge)浮💃🏻子(zi)位置(zhi)通過(guo)指示(shi)器中(zhong)的經(jing)過充(chong)磁的(de)磁耦(ou)合指(zhi)示系(xi)統帶(dai)動指(zhi)💞針,由(you)刻度(du)盤和(he)指針(zhen)讀出(chu)相應(ying)的流(liu)量計(ji)。也可(ke)配裝(zhuang)不同(tong)的轉(zhuan)換器(qi).将流(liu)量值(zhi)轉換(huan)成标(biao)準的(de)電遠(yuan)傳信(xin)号,從(cong)而實(shi)現遠(yuan)距離(li)顯示(shi)、記錄(lu)、積算(suan)和控(kong)制功(gong)能。金(jin)屬管(guan)轉子(zi)流量(liang)計在(zai)耦合(he)指示(shi)系統(tong)的🔴設(she)計上(shang)可以(yi)爲各(ge)種應(ying)用場(chang)合提(ti)供🥰可(ke)靠适(shi)☁️用的(de)功能(neng)組合(he),如現(xian)場指(zhi)針顯(xian)示、LCD顯(xian)示瞬(shun)時和(he)累計(ji)流量(liang)等。在(zai)🍓指示(shi)器供(gong)電選(xuan)擇方(fang)面有(you)電池(chi)供電(dian)、24VDC供👉電(dian)、220VAC供電(dian),方式(shi)根據(ju)現場(chang)情況(kuang)選擇(ze)。
 
1.2金屬(shu)管浮(fu)子流(liu)量計(ji)的一(yi)般應(ying)用
　　工(gong)業上(shang)常用(yong)的流(liu)量計(ji)除了(le)金屬(shu)轉了(le)流量(liang)計外(wai)，還有(you) 差壓(ya)流量(liang)計 、 渦(wo)街流(liu)量計(ji) 、 電磁(ci)流量(liang)計 、 超(chao)聲波(bo)流量(liang)計 、 渦(wo)輪流(liu)量計(ji) 、 橢圓(yuan)齒輪(lun)流量(liang)計 等(deng)。每種(zhong)流量(liang)計在(zai)針對(dui)不同(tong)的被(bei)測流(liu)體、不(bu)同的(de)流💁動(dong)狀态(tai)、不同(tong)的測(ce)量場(chang)所,各(ge)有其(qi)優勢(shi)和劣(lie)勢.比(bi)如在(zai)流速(su)不同(tong)的場(chang)合✏️中(zhong),中🤩高(gao)流速(su)下的(de)流量(liang)測量(liang)已有(you)孔闆(pan).渦街(jie)等多(duo)種流(liu)❗量計(ji)能夠(gou)實現(xian)🐇正确(que)測量(liang),而🍉在(zai)較低(di)流🏃‍♂️速(su)、較高(gao)壓力(li)的流(liu)量測(ce)量中(zhong),尤其(qi)低雷(lei)諾系(xi)數的(de)情況(kuang)下.金(jin)屬管(guan)浮子(zi)流盤(pan)計就(jiu)👨‍❤️‍👨起到(dao)非常(chang)重要(yao)的作(zuo)用。
 
2金(jin)屬管(guan)浮子(zi)流量(liang)計加(jia)裝阻(zu)尼器(qi)在多(duo)晶矽(xi)生産(chan)中☀️的(de)應用(yong)
2.1阻尼(ni)器的(de)工作(zuo)原理(li)
　　使自(zi)由振(zhen)動衰(shuai)減的(de)各種(zhong)摩擦(ca)和其(qi)他阻(zu)礙作(zuo)用，我(wo)們稱(cheng)之爲(wei)阻尼(ni)。而可(ke)以提(ti)供運(yun)動的(de)阻力(li),耗碰(peng)運動(dong)能量(liang)的裝(zhuang)置,我(wo)們稱(cheng)爲阻(zu)尼器(qi)。目前(qian)各種(zhong)應用(yong)中有(you):彈貧(pin)阻尼(ni)器、液(ye)壓阻(zu)尼器(qi)、粘滞(zhi)阻尼(ni)器.氣(qi)阻尼(ni)器、電(dian)磁阻(zu)尼器(qi)等。
2.2金(jin)屬管(guan)浮子(zi)流量(liang)計在(zai)使用(yong)中出(chu)現的(de)問題(ti)
　　轉子(zi)流量(liang)計在(zai)多晶(jing)矽生(sheng)産現(xian)場使(shi)用過(guo)程中(zhong),由于(yu)🧑🏾‍🤝‍🧑🏼測量(liang)介‼️質(zhi)🚩瞬間(jian)流量(liang)過小(xiao)或不(bu)穩定(ding)、操作(zuo)壓力(li)低或(huo)不穩(wen)定,儀(yi)表前(qian)後測(ce)🔴量管(guan)道内(nei)徑變(bian)化過(guo)大，前(qian)後直(zhi)管段(duan)嚴重(zhong)不符(fu)合使(shi)用規(gui)定要(yao)求，尤(you)其是(shi)測量(liang)介質(zhi)爲氣(qi)體等(deng)情況(kuang)下會(hui)🐅造成(cheng)流量(liang)計測(ce)量管(guan)内介(jie)質流(liu)動極(ji)不穩(wen)定,引(yin)起浮(fu)子發(fa)生跳(tiao)動的(de)現象(xiang)。浮子(zi)的垂(chui)直上(shang)下直(zhi)線運(yun)✏️動通(tong)過磁(ci)耦合(he)系統(tong)傳遞(di)、傳化(hua)👈爲指(zhi)針軸(zhou)的轉(zhuan)動運(yun)行♊,與(yu)指針(zhen)軸組(zu)合成(cheng)一-體(ti)的指(zhi)針轉(zhuan)動從(cong)而擡(tai)示介(jie)質的(de)瞬時(shi)流量(liang)。流量(liang)計測(ce)量管(guan)中浮(fu)💯子發(fa)生的(de)跳動(dong)現象(xiang)傳遞(di)給指(zhi)針,就(jiu)變成(cheng)爲指(zhi)🔴針連(lian)🐪續不(bu)停頓(dun)的擺(bai)動現(xian)象，造(zao)成流(liu)量指(zhi)示不(bu)穩定(ding),甚至(zhi)根本(ben)不能(neng)讀取(qu)刻度(du)值,确(que)定瞬(shun)時流(liu)量數(shu)值。如(ru)果現(xian)場出(chu)現這(zhe)種現(xian)象,通(tong)常的(de)處理(li)方法(fa)是分(fen)析造(zao)成指(zhi)針擺(bai)動的(de)主要(yao)原因(yin),多數(shu)情況(kuang)下從(cong)多晶(jing)🔞矽生(sheng)産工(gong)藝上(shang)采取(qu)措施(shi),改善(shan)介質(zhi)流動(dong)狀況(kuang),從而(er)減少(shao)、避免(mian)指針(zhen)的擺(bai)動。但(dan)是很(hen)多時(shi)候指(zhi)針擺(bai)動的(de)頻率(lü)、幅度(du)很難(nan)🐆從根(gen)本.上(shang)避免(mian)、降低(di)。
2.3氣阻(zu)尼器(qi)在金(jin)屬管(guan)浮子(zi)流量(liang)計中(zhong)的應(ying)用
　　在(zai)儀表(biao)測量(liang)管中(zhong)加裝(zhuang)氣阻(zu)尼器(qi)成爲(wei)解決(jue)浮子(zi)跳動(dong)💁,指針(zhen)擺🔞動(dong)的有(you)效方(fang)法之(zhi)一。該(gai)裝置(zhi)包括(kuo)氣阻(zu)尼頭(tou)與氣(qi)阻💞尼(ni)套,二(er)者🔴爲(wei)間隙(xi)配合(he),二者(zhe)間形(xing)成的(de)腔體(ti)中充(chong)滿測(ce)量介(jie)質,當(dang)浮子(zi)向💰上(shang)或向(xiang)下運(yun)動時(shi),測量(liang)介質(zhi)必須(xu)排出(chu)或進(jin)人腔(qiang)體,由(you)于阻(zu)尼頭(tou)與阻(zu)尼套(tao)之間(jian)間隙(xi)很小(xiao)，測量(liang)介質(zhi)排出(chu)或進(jin)人腔(qiang)體的(de)速度(du)滞後(hou)于浮(fu)子向(xiang).上或(huo)向下(xia)運動(dong)的速(su)度.從(cong)而起(qi)到阻(zu)尼效(xiao)果,降(jiang)低.浮(fu)📱子向(xiang).上或(huo)向下(xia)運動(dong)的速(su)度,過(guo)低指(zhi)針擺(bai)動的(de)頻率(lü)、幅度(du)。
2.3.1氣阻(zu)尼器(qi)使用(yong)中需(xu)要注(zhu)意的(de)問題(ti)。
　　現有(you)阻尼(ni)裝置(zhi)中的(de)氣阻(zu)尼頭(tou)與阻(zu)尼套(tao)之間(jian)的配(pei)合爲(wei)面🥵接(jie)觸♻️.與(yu)流量(liang)計測(ce)量管(guan)與介(jie)質流(liu)動極(ji)不穩(wen)定,引(yin)起浮(fu)子發(fa)生跳(tiao)動,加(jia)之加(jia)工誤(wu)差,常(chang)會使(shi)氣阻(zu)尼頭(tou)随♋浮(fu)子導(dao)向.杆(gan)産⛱️生(sheng)偏移(yi).導緻(zhi)氣阻(zu)尼頭(tou)過快(kuai)的磨(mo)損，嚴(yan)重時(shi)使氣(qi)阻尼(ni)套卡(ka)住,影(ying)響阻(zu)尼效(xiao)果,縮(suo)🔴短氣(qi)阻尼(ni)裝置(zhi)的使(shi)用壽(shou)命。
2.3.2解(jie)決方(fang)案。
　　爲(wei)了解(jie)決可(ke)能存(cun)在的(de)不足(zu),可采(cai)用了(le)以下(xia)新技(ji)術。改(gai)變🈲氣(qi)阻尼(ni)頭與(yu)氣阻(zu)尼套(tao)之間(jian)的配(pei)合方(fang)式,使(shi)之配(pei)合的(de)表🐆面(mian)形狀(zhuang)爲球(qiu)面,球(qiu)面的(de)圓心(xin)在氣(qi)阻尼(ni)頭🔱與(yu)氣阻(zu)尼套(tao)配合(he)的中(zhong)☎️軸線(xian)上,使(shi)氣阻(zu)尼頭(tou)與氣(qi)阻尼(ni)套之(zhi)間的(de)配合(he)爲線(xian)性接(jie)觸。當(dang)氣阻(zu)尼頭(tou)随浮(fu)子導(dao)向杆(gan)産生(sheng)偏移(yi)時,氣(qi)阻尼(ni)頭與(yu)氣阻(zu)尼套(tao)之間(jian)的配(pei)合始(shi)終是(shi)✉️線接(jie)觸，既(ji)可防(fang)止氣(qi)阻尼(ni)頭與(yu)氣阻(zu)尼🐕套(tao)卡住(zhu).義使(shi)氣阻(zu)🌍尼頭(tou)磨損(sun)平均(jun),延長(zhang)了氣(qi)阻尼(ni)裝置(zhi)使用(yong)壽命(ming)。
 
2.4電磁(ci)阻尼(ni)器在(zai)金屬(shu)管浮(fu)子流(liu)量計(ji)中的(de)應用(yong)
　　由于(yu)轉子(zi)流量(liang)計的(de)測量(liang)管爲(wei)機械(xie)結構(gou).測量(liang)時對(dui)波動(dong)很🧡敏(min)🚩感,經(jing)常會(hui)出現(xian)指針(zhen)波動(dong)嚴重(zhong),甚至(zhi)影響(xiang)讀數(shu)的情(qing)㊙️況。除(chu)了在(zai)測量(liang)管中(zhong)加裝(zhuang)氣阻(zu)尼器(qi)之外(wai),還可(ke)以在(zai)指針(zhen)組件(jian)中增(zeng)加電(dian)磁阻(zu)尼器(qi),使指(zhi)針擺(bai)動的(de)頻率(lü)、幅度(du)大幅(fu)度降(jiang)低，使(shi)指針(zhen)指示(shi)穩定(ding)，刻度(du)值讀(du)取變(bian)得㊙️容(rong)易，讀(du)取精(jing)‼️度更(geng)高。
　　電(dian)磁阻(zu)尼器(qi)的工(gong)作原(yuan)理。電(dian)磁阻(zu)尼器(qi)由磁(ci)鋼、連(lian)接件(jian)、金⭕屬(shu)♍闆等(deng)組裝(zhuang)後爲(wei)一體(ti)。指針(zhen)的配(pei)重爲(wei)導電(dian)金屬(shu)鋁🏃合(he)金,根(gen)據電(dian)磁感(gan)應定(ding)律,配(pei)重在(zai)磁場(chang)中運(yun)動，切(qie)割磁(ci)力線(xian).必然(ran)産生(sheng)🧑🏾‍🤝‍🧑🏼感應(ying)電動(dong)勢,從(cong)💃而在(zai)配重(zhong)中㊙️産(chan)生渦(wo)電流(liu);磁場(chang)對帶(dai)電導(dao)體必(bi)然産(chan)生作(zuo)用力(li),而♈此(ci)作用(yong)力恰(qia)好起(qi)到阻(zu)礙配(pei)重在(zai)磁場(chang)中運(yun)動的(de)作💚用(yong),配重(zhong)運動(dong)的速(su)度越(yue)大,産(chan)生☔的(de)反作(zuo)用也(ye)越大(da),其效(xiao)果類(lei)似于(yu)阻尼(ni)👈器,從(cong)而使(shi)電磁(ci)阻尼(ni)器起(qi)到降(jiang)低✍️指(zhi)針擺(bai)動頻(pin)率、幅(fu)度的(de)作用(yong).達到(dao)穩定(ding)📧的效(xiao)果。
 
　　與(yu)現有(you)技術(shu)相比(bi)，通過(guo)增加(jia)電磁(ci)阻尼(ni)器裝(zhuang)置,可(ke)有效(xiao)改善(shan)流量(liang)計的(de)使用(yong)效果(guo)，使指(zhi)針的(de)擺動(dong)頻率(lü)和幅(fu)度🐇大(da)幅度(du)降低(di)，指♈針(zhen)穩定(ding)指示(shi),刻度(du)值的(de)讀取(qu)變得(de)容易(yi)，讀取(qu)精度(du)提高(gao),既提(ti)高了(le)效率(lü)也保(bao)證了(le)精度(du)。

以上(shang)内容(rong)源于(yu)網絡(luo)，如有(you)侵權(quan)聯系(xi)即删(shan)除!